企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 广东 东莞 东莞市 |
联系卖家: | 张应叙 先生 |
手机号码: | 13530641276 |
公司官网: | dglicheng.tz1288.com |
公司地址: | 东莞市清溪镇三中老中坑莲湖街5号 |
发布时间:2022-07-02 21:00:00 作者:利成感光
曝光显影光刻十步法:
表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和曝光—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀—光刻胶去除—终目检;
基本的光刻胶化学物理属性:
a、组成:聚合物+溶剂+感光剂+添加剂
普通应用的光刻胶被设计成与紫外线和激光反应,它们称为光学光刻胶,还有其它光刻胶可以与X射线或者电子束反应;负胶+亮场或正胶+暗场形成空穴; 负胶+暗场或正胶+亮场形成凸起
显影参数
在显影过程中有一些关键参数是必须被关注的,这些参数包括显影温度、显影时间、显影液量、当量浓度、排风及清洗等。
显影液量。晶圆片上显影液的量会影响到显影的质量。如显影液不足,可能会导致显影不尽;显影液过量,虽不会造成显影异常,但会造成浪费,因此,对于大规模生产来说,确定一个合适的显影量也是相当重要的。当量浓度。当量浓度是一个浓度单位,表示一升溶液中溶质的含量。对于显影液来说,当量浓度反映显影中其主导作用的OH-离子的浓度。五金腐蚀曝光显影加工免责声明:以上信息由会员自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责,天助网对此不承担任何责任。天助网不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷, 纠纷由您自行协商解决。
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