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发布时间：2022-05-27 19:29:00 作者：利成感光
什么是曝光显影工艺？
不同的物质通过对不同波长紫外光的吸收，分子会发生能级跃迁，从基态跃迁至激发态，改变物质化学性能。
精度控制工艺点
由于3D曲面CG玻璃需要和中框的结合，但是3D曲面CG玻璃本身物理加工又存在难以去除的公差，在进行曝光工艺加工时工艺误差区间被压缩，
喷砂曝光显影公司
光刻十步法：表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和曝光—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀，
光刻胶的物理属性：
粘度：测试方法有落球粘度计量器、Ostwalk-Cannon-Fenske方法、转动风向标法、粘度单位是厘泊（centipoise），另一种单位称为kinematic粘度，它是centistoke，由 粘度（厘泊）除以光刻胶密度而得到，默认温度为25度；
折射系数：index of refraction，对于光刻胶其折射率和玻璃接近约为1.45；
储存与控制： 光热敏感度、粘度、清洁度……
显影液是一种用水稀释的强碱溶液，早期的显影液为或的水溶液，但这两种溶液中都包含有金属，会造成可动离子沾污，对于污染很敏感的集成电路是不能接受的。目前普通的正胶显影液是（TMAH），这种显影液的金属离子浓度很低，从而避免了金属离子的污染。湿法显影。光刻胶早期湿法显影的方式是将一盒晶圆片浸没在显影液中并进行一定幅度的振荡，随着晶圆尺寸的逐渐增大，此方法已经不再适用。喷砂曝光显影公司显影参数
在显影过程中有一些关键参数是必须被关注的，这些参数包括显影温度、显影时间、显影液量、当量浓度、排风及清洗等。
显影液量。晶圆片上显影液的量会影响到显影的质量。如显影液不足，可能会导致显影不尽；显影液过量，虽不会造成显影异常，但会造成浪费，因此，对于大规模生产来说，确定一个合适的显影量也是相当重要的。当量浓度。当量浓度是一个浓度单位，表示一升溶液中溶质的含量。对于显影液来说，当量浓度反映显影中其主导作用的OH-离子的浓度。喷砂曝光显影公司
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