企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 广东 东莞 东莞市 |
联系卖家: | 张应叙 先生 |
手机号码: | 13530641276 |
公司官网: | dglicheng.tz1288.com |
公司地址: | 东莞市清溪镇三中老中坑莲湖街5号 |
发布时间:2022-05-16 10:51:00 作者:利成感光
光刻十步法:表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和曝光—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀对准和曝光(A&E):
对准系统的性能表现:对准系统包含两个主要子系统、一个是要把图形在晶圆表面上准备定位,另一个是曝光子系统,包括一个曝光光源和一个将辐射光线导向晶圆表面上的机械装置;对准与曝光系统:光学(接触式、接近式、投影式、步进式),非光学(X射线、电子束); 保温杯曝光显影企业
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