| 企业等级： | 普通会员 |
| 经营模式： | 生产加工 |
| 所在地区： | 广东 东莞 东莞市 |
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| 公司地址： | 东莞市清溪镇三中老中坑莲湖街5号 |
发布时间：2022-05-15 11:55:00 作者：利成感光
光刻十步法：表面准备—涂光刻胶—软烘焙—对准和曝光—显影—硬烘焙—显影目测—刻蚀对准和曝光（A&E）:
对准系统的性能表现：对准系统包含两个主要子系统、一个是要把图形在晶圆表面上准备定位，另一个是曝光子系统，包括一个曝光光源和一个将辐射光线导向晶圆表面上的机械装置；对准与曝光系统：光学（接触式、接近式、投影式、步进式），非光学（X射线、电子束）； 曝光显影厂
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